Compact-sized excimer laser with two-side preionization
Compact-sized monopulse excimer laser with the foot-print equal to only 250×80 mm, total height 250 mm and beam axis height 50 mm was designed. Output energy at the wavelength 308 nm (XeCl* mixture) is 5 mJ, maximal repetition rate – 1-2 pulses per second, beam divergence – 8 milliradians. The...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/118566 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Compact-sized excimer laser with two-side preionization / S.M. Baschenko, L.S. Marchenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2010. — Т. 13, № 4. — С. 426-427. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |