Activation of porous Si blue emission due to preanodization ion implantation
Implantation of B⁺, N⁺, and B⁺+N⁺ ions into initial silicon wafers was carried out before anodization process. The results of photoluminescent (PL) study of porous Si samples prepared on B⁺ or N⁺ implanted wafers show a decrease in the photoluminescence intensity when compared with the initial porou...
Збережено в:
Дата: | 2001 |
---|---|
Автори: | , , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119239 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Activation of porous Si blue emission due to preanodization ion implantation / A.G. Rozhin, N.I. Klyui, V.G. Litovchenko, V.P. Melnik, B.N. Romanyuk, Yu.P. Piryatinskii // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 1. — С. 44-47. — Бібліогр.: 16 назв. — англ. |