Polishing of AlN/sapphire substrates obtained by thermochemical nitridation of sapphire
Physicochemical conditions and polishing suspension composition were established for polishing of AlN/sapphire templates obtained by thermochemical nitridation of sapphire. The use of the polishing suspension based on aerosil and KOH with pH 10.3 allowed to prepare the surface with a roughness Ra up...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2013
|
| Назва видання: | Functional Materials |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120073 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Polishing of AlN/sapphire substrates obtained by thermochemical nitridation of sapphire / E.A. Vovk, A.T. Budnikov, S.V. Nizhankovskyi, S.I. Kryvonogov, A.A. Krukhmalev, M.V. Dobrotvorskaya // Functional Materials. — 2013. — Т. 20, № 2. — С. 253-258. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |