Chemical dissolution of indium arsenide in the Br₂-HBr solutions
The nature and kinetics of InAs chemical dissolution and chemical cutting, in the bromine solutions in hydrobromic acid have been investigated. It was shown that at low (up to 6 vol.%) bromine concentrations the InAs dissolution rate grows linearly with bromine concentration. Such solutions may be u...
Збережено в:
Дата: | 1999 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120255 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Chemical dissolution of indium arsenide in the Br₂-HBr solutions / Z.F. Tomashik, S.G. Danylenko, V.N. Tomashik, M.Yu. Kravetski // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 1999. — Т. 2, № 4. — С. 73-75. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |