The effect of doping methods on electrical properties and micromorphology of polysilicon gate electrode in submicron CMOS devices
Two doping methods for introducing phosphorus atoms into polysilicon to form a gate electrode for 0.5 mm CMOS were investigated. These methods were ion implantation and the ”in-situ” one (it is also known as thermal diffusion). For the in-situ method, the concentration of 1.8.10²⁰cm-³ for Si₂H₆ and...
Збережено в:
Видавець: | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
---|---|
Дата: | 2002 |
Автори: | Ahmad, I., Omar, A., Mikdad, A. |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121185 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | The effect of doping methods on electrical properties and micromorphology of polysilicon gate electrode in submicron CMOS devices / I. Ahmad, A. Omar, A. Mikdad // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2002. — Т. 5, № 2. — С. 188-192. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Fabrication and characterization of a 0.14 μm CMOS device using ATHENA and ATLAS simulators
за авторством: Ahmad, Ibrahim, та інші
Опубліковано: (2006) -
Optimal solution in producing 32nm CMOS technology transistor with desired leakage current
за авторством: H. A. lgomati, та інші
Опубліковано: (2011) -
Optimal solution in producing 32-nm CMOS technology transistor with desired leakage current
за авторством: Elgomati, H.A., та інші
Опубліковано: (2011) -
Micromorphological features of the species of Ganoderma (Ganodermataceae) in pure culture
за авторством: D. O. Boromenskyi, та інші
Опубліковано: (2019) -
High-speed multicolour photometry with CMOS cameras
за авторством: S. M. Pokhvala, та інші
Опубліковано: (2012)