Аutomated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals
A method for express automatic evaluation of the dislocation density on the crystal surfaces has been developed. The work involves creation of a software that allows automatical determining the number of etch pits with a defined geometric shape, which are seen in the microscope view field, and calcu...
Збережено в:
| Дата: | 2016 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2016
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121519 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Аutomated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals / G.S. Pekar, А.А. Singaevsky, А.F. Singaevsky // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2016. — Т. 19, № 1. — С. 23-27. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |