Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
The results of researches of the combined stationary-pulsed operating mode of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode and with the additional pulsed high-current, high-voltage power supply are presented. It is shown that the increasing of duration of...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122162 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, А.А. Bizukov, A.I. Girka // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 227-230. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |