Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии

• Дата: 2017
• Автори: Лукин, К.А., Татьянко, Д.Н., Пих, А.Б., Земляный, О.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2017
• Назва видання: Радіофізика та електроніка
• Теми: Прикладная радиофизика
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122659
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии / К.А. Лукин, Д.Н. Татьянко, А.Б. Пих, О.В. Земляный // Радіофізика та електроніка. — 2017. — Т. 8(22), № 1. — С. 77-85. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

В работе представлены результаты применения метода спектральной интерферометрии оптического диапазона для измерения толщин тонких пленок. Аналитически и экспериментально проанализирован спектр суммарного излучения на выходе волоконно-оптического интерферометра Фабри–Перо, который формируется за счет отражений широкополосного излучения от многослойных структур, в том числе и для частного случая двух отражений, когда объектом исследования являются тонкие пленки. Выделены информативные компоненты спектра, соответствующие расстояниям до отражающих поверхностей. Результаты экспериментов, которые проводились с использованием широкополосных светодиодных источников оптического излучения, находятся в полном соответствии с теоретическими выводами. Разработан программный инструментарий с графическим интерфейсом пользователя, предназначенный для обработки и визуализации данных, полученных экспериментально. Полученные в работе результаты позволят улучшить характеристики измерительного оборудования в медицине, профилометрии, а также создавать эталонные средства измерений в метрологии.