Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии
В работе представлены результаты применения метода спектральной интерферометрии оптического диапазона для измерения толщин тонких пленок. Аналитически и экспериментально проанализирован спектр суммарного излучения на выходе волоконно-оптического интерферометра Фабри–Перо, который формируется за счет...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
2017
|
| Назва видання: | Радіофізика та електроніка |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122659 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии / К.А. Лукин, Д.Н. Татьянко, А.Б. Пих, О.В. Земляный // Радіофізика та електроніка. — 2017. — Т. 8(22), № 1. — С. 77-85. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |