Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС

• Date: 1999
• Main Authors: Осинский, В.И., Олексенко, П.Ф., Палагин, А.В., Зубарев, В.В., Луговский, В.В., Бондаренко, В.М., Николаенко, Ю.Е., Вербицкий, В.Г., Воронько, А.А., Бобженко, С.В., Мержвинский, А.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1999
• Series: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Subjects: Техническая политика
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122680
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос.

Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника.