Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника.
Збережено в:
| Дата: | 1999 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122680 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-122680 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1226802017-07-18T03:02:53Z Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС Осинский, В.И. Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. Техническая политика Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника. The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source. 1999 Article Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122680 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Техническая политика Техническая политика |
| spellingShingle |
Техническая политика Техническая политика Осинский, В.И. Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника. |
| format |
Article |
| author |
Осинский, В.И. Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. |
| author_facet |
Осинский, В.И. Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. |
| author_sort |
Осинский, В.И. |
| title |
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_short |
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_full |
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_fullStr |
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_full_unstemmed |
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_sort |
проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ис |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1999 |
| topic_facet |
Техническая политика |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122680 |
| citation_txt |
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT osinskijvi problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT oleksenkopf problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT palaginav problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT zubarevvv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT lugovskijvv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT bondarenkovm problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT nikolaenkoûe problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT verbickijvg problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT voronʹkoaa problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT bobženkosv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT meržvinskijaa problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis |
| first_indexed |
2023-10-18T20:42:22Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:42:22Z |
| _version_ |
1796150897431019520 |