2025-02-23T17:54:47-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-125929%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T17:54:47-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-125929%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T17:54:47-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T17:54:47-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Микроэлектромеханические системы в медицине

Микроэлектромеханические системы в медицине

Представлен обзор МЭМС и биоМЭМС, областей их применения, конструкций, разработок микрозеркал, а также результаты аналитического расчета и расчета в программе Comsol Multiphysics микрозеркала с тепловым приводом....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Шоффа, В.Н., Бандорина, Е.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2016
Series:Электрические контакты и электроды
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125929
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125929

Similar Items