Микроэлектромеханические системы в медицине

Представлен обзор МЭМС и биоМЭМС, областей их применения, конструкций, разработок микрозеркал, а также результаты аналитического расчета и расчета в программе Comsol Multiphysics микрозеркала с тепловым приводом....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
Дата:2016
Автори: Шоффа, В.Н., Бандорина, Е.Г.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2016
Назва видання:Электрические контакты и электроды
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125929
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Микроэлектромеханические системы в медицине / В.Н. Шоффа, Е.Г. Бандорина // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2016. — С. 13-22. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine