Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги

• Main Authors: Белоус, В.А., Куприн, А.С., Дуб, С.Н., Овчаренко, В.Д., Толмачева, Г.Н., Решетняк, Е.Н., Тимофеева, И.И., Литвин, П.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2013
• Series: Сверхтвердые материалы
• Subjects: Получение, структура, свойства
• Online Access: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126023

Защитные покрытия системы Ti–Al–Si–N осаждали вакуумно-дуговым методом при распылении катода состава 78Ti–16Al–6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti–Al–Si–N были изучены методом рентгеноструктурного анализа, топография покрытий – методом атомно-силовой микроскопии, химически...