Розробка технології виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико-механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу

• Дата: 2017
• Автори: Данько, В.А., Індутний, І.З., Ушенін, Ю.В., Литвин, П.М., Минько, В.І., Шепелявий, П.Є., Луканюк, М.В., Корчовий, А.А., Христосенко, Р.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian
• Опубліковано: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2017
• Назва видання: Наука та інновації
• Теми: Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/129867
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Розробка технології виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико-механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу / В.А. Данько, І.З. Індутний, Ю.В. Ушенін, П.М. Литвин, В.І. Минько, П.Є. Шепелявий, М.В. Луканюк, А.А. Корчовий, Р.В. Христосенко // Наука та інновації. — 2017. — Т. 13, № 6. — С. 25-35. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.

Виконано інноваційний проект з розробки технологічного методу виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю для біосенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу (ППР), які працюють в схемі Кречмана. Підвищення чутливості такого сенсора досягається за рахунок формування високочастотн...