Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні....
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
| Назва видання: | Журнал физики и инженерии поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130544 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-130544 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1305442018-02-17T03:03:06Z Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій Азарєнков, М.О. Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности. The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies. 2017 Article Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр. 2519-2485 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130544 537.521.7 uk Журнал физики и инженерии поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. |
| format |
Article |
| author |
Азарєнков, М.О. Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. |
| spellingShingle |
Азарєнков, М.О. Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій Журнал физики и инженерии поверхности |
| author_facet |
Азарєнков, М.О. Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. |
| author_sort |
Азарєнков, М.О. |
| title |
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_short |
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_full |
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_fullStr |
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_full_unstemmed |
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_sort |
іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2017 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130544 |
| citation_txt |
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр. |
| series |
Журнал физики и инженерии поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT azarênkovmo íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíj AT dudínsv íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíj AT zikovov íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíj AT fareníkví íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíj AT âkovínsd íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíj |
| first_indexed |
2023-10-18T21:00:15Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:00:15Z |
| _version_ |
1796151671210901504 |