Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2014
|
| Назва видання: | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/134875 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д.В. Соколюк, О.М. Куцай, С.П. Старик, В.М. Ткач, О.О. Стаценко, В.В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 336-339. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |