Effect of low-energy ion bombardment during the sputtering on the crystal structure of FePt films

The crystal structure and texture of FePt films have been studied. The film were grown on Si and Al₂O₃ substrates by RF magnetron sputtering using ion bombardment during the growth. The ion bombardment was done by applying an RF bias to the substrate. At room temperature of substrate, the effect of...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2008
Автори: Naumov, V.V., Il'yashenko, E.I.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2008
Назва видання:Functional Materials
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/135266
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Effect of low-energy ion bombardment during the sputtering on the crystal structure of FePt films // V.V. Naumov, E.I. Il'yashenko // Functional Materials. — 2008. — Т. 15, № 3. — С. 356-363. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine