Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора

• Datum: 2017
• Hauptverfasser: Журавлев, А.Ю., Шиян, А.В., Семенов, Н.А., Широков, Б.М.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
• Schriftenreihe: Вопросы атомной науки и техники
• Schlagworte: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Zugang: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136048
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследова...