2025-02-23T12:02:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-136048%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T12:02:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-136048%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T12:02:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T12:02:20-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора

Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследова...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Журавлев, А.Ю., Шиян, А.В., Семенов, Н.А., Широков, Б.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136048
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследованы кинетические особенности осаждения карбида бора в системе BCl₃-C₇H₈-H₂.

Similar Items