Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследова...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136048 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-136048 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1360482018-06-16T03:03:43Z Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора Журавлев, А.Ю. Шиян, А.В. Семенов, Н.А. Широков, Б.М. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследованы кинетические особенности осаждения карбида бора в системе BCl₃-C₇H₈-H₂. Представлено результати досліджень отримання карбіду бору водневим відновленням трихлористого бору (BCl₃) у парах толуолу (C₇H₈). Розглянуто термодинаміку процесу осадження, газодинамічні параметри парогазового потоку при обтіканні поверхні, що покривається, у проточному реакторі. Досліджено кінетичні особливості осадження карбіду бору в системі BCl₃-C₇H₈-H₂. This paper presents the results of studies produce boron carbide hydrogen reduction of boron trichloride (BCl₃) and (C₇H₈) in toluene vapor. Considered the thermodynamics of the deposition process, gas-dynamic parameters of steam and gas flow in the flow of the substrate during vapor deposition of coatings in a flow reactor. The kinetic features of deposition of boron carbide in the system BCl₃-C₇H₈-H₂. 2017 Article Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136048 620.197:621.165.669.1 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Журавлев, А.Ю. Шиян, А.В. Семенов, Н.А. Широков, Б.М. Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследованы кинетические особенности осаждения карбида бора в системе BCl₃-C₇H₈-H₂. |
| format |
Article |
| author |
Журавлев, А.Ю. Шиян, А.В. Семенов, Н.А. Широков, Б.М. |
| author_facet |
Журавлев, А.Ю. Шиян, А.В. Семенов, Н.А. Широков, Б.М. |
| author_sort |
Журавлев, А.Ю. |
| title |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_short |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_full |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_fullStr |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_full_unstemmed |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_sort |
разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2017 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136048 |
| citation_txt |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT žuravlevaû razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora AT šiânav razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora AT semenovna razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora AT širokovbm razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora |
| first_indexed |
2023-10-18T21:08:03Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:08:03Z |
| _version_ |
1796152006603177984 |