Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення

З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12…20 μm. Діелектричний шар складається з фази Al...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2013
Автори: Дурягіна, З.А., Підкова, В.Я.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України 2013
Назва видання:Фізико-хімічна механіка матеріалів
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136065
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З.А. Дурягіна, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2013. — Т. 49, № 3. — С. 74-79. — Бібліогр.: 9 назв. — укp.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine