2025-02-23T03:17:34-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-136065%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:17:34-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-136065%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:17:34-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T03:17:34-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення
З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12…20 μm. Діелектричний шар складається з фази Al...
Saved in:
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України
2013
|
| Series: | Фізико-хімічна механіка матеріалів |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136065 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|