Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення
З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12…20 μm. Діелектричний шар складається з фази Al...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України
2013
|
| Назва видання: | Фізико-хімічна механіка матеріалів |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136065 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З.А. Дурягіна, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2013. — Т. 49, № 3. — С. 74-79. — Бібліогр.: 9 назв. — укp. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-136065 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1360652018-06-16T03:12:40Z Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення Дурягіна, З.А. Підкова, В.Я. З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12…20 μm. Діелектричний шар складається з фази AlN структурного типу ZnO з періодом комірки a = 3,10 Å, c = 4,998 Å. Зерна фази текстуровані за напрямком [001]. С использованием ионно-плазменной разрядной системы получено диэлектрические слои нитрида алюминия, которые имеют наноразмерную структуру. Толщина слоев колеблется от 35 до 50 μm при размере зерен 60…400 nm. Шероховатость поверхности при этом находится в пределах 12…20 μm. Диэлектрический слой состоит из фазы AlN структурного типа ZnO с периодом ячейки a = 3,10 Å, c = 4,998 Å. Зерна фазы текстурированны по направлению [001]. Using the ion-plasma discharge system the aluminium nitride dielectric films with nanoscale structure were obtained. The thickness of layers varies from 35 to 50 μm with a grain size of 60…400 nm. Surface roughness is 12…20 μm. Type of crystal lattice is ZnO with periods a = 3.10 Å, c = 4.998 Å. Grains of phase are textured in direction [001]. 2013 Article Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З.А. Дурягіна, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2013. — Т. 49, № 3. — С. 74-79. — Бібліогр.: 9 назв. — укp. 0430-6252 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136065 uk Фізико-хімічна механіка матеріалів Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари
нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається
від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12…20 μm. Діелектричний шар складається з фази AlN структурного типу ZnO з періодом комірки a = 3,10 Å, c = 4,998 Å. Зерна фази текстуровані
за напрямком [001]. |
| format |
Article |
| author |
Дурягіна, З.А. Підкова, В.Я. |
| spellingShingle |
Дурягіна, З.А. Підкова, В.Я. Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення Фізико-хімічна механіка матеріалів |
| author_facet |
Дурягіна, З.А. Підкова, В.Я. |
| author_sort |
Дурягіна, З.А. |
| title |
Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення |
| title_short |
Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення |
| title_full |
Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення |
| title_fullStr |
Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення |
| title_full_unstemmed |
Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення |
| title_sort |
будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення |
| publisher |
Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України |
| publishDate |
2013 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136065 |
| citation_txt |
Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З.А. Дурягіна, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2013. — Т. 49, № 3. — С. 74-79. — Бібліогр.: 9 назв. — укp. |
| series |
Фізико-хімічна механіка матеріалів |
| work_keys_str_mv |
AT durâgínaza budovašarívnítridualûmíníûsformovanihpídčasíonnoplazmovogonapilennâ AT pídkovavâ budovašarívnítridualûmíníûsformovanihpídčasíonnoplazmovogonapilennâ |
| first_indexed |
2023-10-18T21:13:38Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:13:38Z |
| _version_ |
1796152254354423808 |