The correlation between film structure and surface temperature

The structure of metal films deposited from fluxes of energetic and thermalized sputtered atoms has been studied in detail. The growth surface temperature Tsurf developing during the condensation of sputtered atoms has been measured by two independent techniques. Variations in the film structure fro...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2009
Автори: Shaginyan, L.R., Belousov, I.V., Sedlyar, A.G.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2009
Назва видання:Functional Materials
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/138930
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:The correlation between film structure and surface temperature // L.R. Shaginyan, I.V. Belousov, A.G. Sedlyar // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 384-389. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine