Multilayer film heterostructures. Silicides

Multilayer film heterostructures. Silicides

The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers b...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2009
Автори: Sidorenko, S.I., Makogon, Yu.N., Pavlova, E.P., Voloshko, S.M.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2009
Назва видання:Functional Materials
Теми:
Characterization and properties
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/138937
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-138937
record_format dspace
spelling irk-123456789-1389372018-06-21T03:03:34Z Multilayer film heterostructures. Silicides Sidorenko, S.I. Makogon, Yu.N. Pavlova, E.P. Voloshko, S.M. Characterization and properties The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers between the metal layer and substrate (silicon single crystal). Подано приклади отримання гетероструктур на основі нанорозмірних силіцидних плівок у граничних станах. Показано, що отримання нанорозмірних силіцидних плівок необхідного фазового складу забезпечується формуванням між шаром металу і підкладкою (монокристалом кремнію) особливих зон, прошарків різного типу - дифузійноконтролюючих шарів. Показаны примеры получения гетероструктур на основе наноразмерных силицидных пленок в предельных состояниях. Показано, что получение наноразмерных силицидных пленок необходимого фазового состава обеспечивается формированием между слоем металла и подложкой (монокристаллом кремния) особенных зон, прослоек разного типа - диффузионно-контролирующих слоев. 2009 Article Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/138937 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Characterization and properties
Characterization and properties
spellingShingle Characterization and properties
Characterization and properties
Sidorenko, S.I.
Makogon, Yu.N.
Pavlova, E.P.
Voloshko, S.M.
Multilayer film heterostructures. Silicides
Functional Materials
description The formation of heterostructures based on nanoscale silicide films in limiting states are exemplified. The nanoscale silicide films of a required phase composition are shown to be obtainable by formation of specific zones, different type interlayers referred to as the diffusion-controlling layers between the metal layer and substrate (silicon single crystal).
format Article
author Sidorenko, S.I.
Makogon, Yu.N.
Pavlova, E.P.
Voloshko, S.M.
author_facet Sidorenko, S.I.
Makogon, Yu.N.
Pavlova, E.P.
Voloshko, S.M.
author_sort Sidorenko, S.I.
title Multilayer film heterostructures. Silicides
title_short Multilayer film heterostructures. Silicides
title_full Multilayer film heterostructures. Silicides
title_fullStr Multilayer film heterostructures. Silicides
title_full_unstemmed Multilayer film heterostructures. Silicides
title_sort multilayer film heterostructures. silicides
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
publishDate 2009
topic_facet Characterization and properties
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/138937
citation_txt Multilayer film heterostructures. Silicides // S.I. Sidorenko, Yu.N. Makogon, E.P. Pavlova, S.M. Voloshko // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 445-447. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
series Functional Materials
work_keys_str_mv AT sidorenkosi multilayerfilmheterostructuressilicides
AT makogonyun multilayerfilmheterostructuressilicides
AT pavlovaep multilayerfilmheterostructuressilicides
AT voloshkosm multilayerfilmheterostructuressilicides
first_indexed 2023-10-18T21:17:41Z
last_indexed 2023-10-18T21:17:41Z
_version_ 1796152429899677696

Схожі ресурси