Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers
X-ray photoelectron spectroscopy, transmission electron microscopy, and and low-angle X-ray diffraction were used to investigate the diffusion intermixing in multilayer periodic Mo/Si coatings during manufacturing and heating at 340-380 ℃. It is shown that the mixed zones in the initial state consis...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2005
|
| Назва видання: | Functional Materials |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139320 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers / A.V. Penkov, D.L. Voronov, A.Yu. Devizenko, A.G. Ponomarenko, E.N. Zubarev // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 750-754. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-139320 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1393202018-06-21T03:03:16Z Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers Penkov, A.V. Voronov, D.L. Devizenko, A.Yu. Ponomarenko, A.G. Zubarev, E.N. X-ray photoelectron spectroscopy, transmission electron microscopy, and and low-angle X-ray diffraction were used to investigate the diffusion intermixing in multilayer periodic Mo/Si coatings during manufacturing and heating at 340-380 ℃. It is shown that the mixed zones in the initial state consist of MoSi₂ silicide. Сharacter of mixed zones growth depends on the interface type (Si on Mo or Mo on Si). At initial stage of annealing, the activation energy of interdiffusion has been found to vary from 0.1 to 2.1 eV and from 0.7 to 2.1 eV for the 1-st and 2-nd interface type, respectively. 3а допомогою рентгенiвської фотоелектронної спектроскопiї, просвiчувальної електронної мiкроскопiї та малокутової рентгенiвської дифрактометрiї дослiджено дифузiйне перемiшування у багатошарових перiодичних покриттях Mo/Si₂ при виготовленнi та нагрiваннi до 340-380 ℃. Показано, що у вихiдному станi перемiшанi зони складаються з силiциду молiбдену Mo/Si₂. Спостерiгається вiдмiннiсть у характерi росту перемiшаних зон у залежностi вiд типу меж подiлу (Si на Mo або Mo на Si). Встановлено, що енергiя активацiї дифузiї на початкових стадiях вiдпалу змiнюється вiд 0.1 до 2.1 еВ для межi першого типу та вiд 0.7 до 2.1 еВ - для другого типу. С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, просвечивающей электронной микроскопии и малоугловой рентгеновской дифрактометрии исследовалось диффузионное перемешивание в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при изготовлении и при нагреве до 340-380 ℃. Показано, что в исходном состоянии перемешанные зоны состоят из силицида молибдена MoSi₂. Наблюдается различный характер роста перемешанных зон в зависимости от типа границы раздела (Si на Mo или Mo на Si). Установлено, что энергия активации диффузии на начальной стадии отжига изменяется от 0.1 до 2.1 эВ для границы первого типа и от 0.7 до 2.1 эВ - для второго типа. 2005 Article Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers / A.V. Penkov, D.L. Voronov, A.Yu. Devizenko, A.G. Ponomarenko, E.N. Zubarev // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 750-754. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139320 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| description |
X-ray photoelectron spectroscopy, transmission electron microscopy, and and low-angle X-ray diffraction were used to investigate the diffusion intermixing in multilayer periodic Mo/Si coatings during manufacturing and heating at 340-380 ℃. It is shown that the mixed zones in the initial state consist of MoSi₂ silicide. Сharacter of mixed zones growth depends on the interface type (Si on Mo or Mo on Si). At initial stage of annealing, the activation energy of interdiffusion has been found to vary from 0.1 to 2.1 eV and from
0.7 to 2.1 eV for the 1-st and 2-nd interface type, respectively. |
| format |
Article |
| author |
Penkov, A.V. Voronov, D.L. Devizenko, A.Yu. Ponomarenko, A.G. Zubarev, E.N. |
| spellingShingle |
Penkov, A.V. Voronov, D.L. Devizenko, A.Yu. Ponomarenko, A.G. Zubarev, E.N. Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers Functional Materials |
| author_facet |
Penkov, A.V. Voronov, D.L. Devizenko, A.Yu. Ponomarenko, A.G. Zubarev, E.N. |
| author_sort |
Penkov, A.V. |
| title |
Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers |
| title_short |
Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers |
| title_full |
Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers |
| title_fullStr |
Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers |
| title_full_unstemmed |
Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers |
| title_sort |
features of diffusion mixing in mo/si multilayers |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| publishDate |
2005 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139320 |
| citation_txt |
Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers / A.V. Penkov, D.L. Voronov, A.Yu. Devizenko, A.G. Ponomarenko, E.N. Zubarev // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 750-754. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| series |
Functional Materials |
| work_keys_str_mv |
AT penkovav featuresofdiffusionmixinginmosimultilayers AT voronovdl featuresofdiffusionmixinginmosimultilayers AT devizenkoayu featuresofdiffusionmixinginmosimultilayers AT ponomarenkoag featuresofdiffusionmixinginmosimultilayers AT zubareven featuresofdiffusionmixinginmosimultilayers |
| first_indexed |
2023-10-18T21:20:10Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:20:10Z |
| _version_ |
1796152540231892992 |