Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании

• Дата: 2016
• Автори: Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Ковалев, В.А., Юрчишин, О.Я., Ветров, А.Г.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
• Назва видання: Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
• Теми: Разработка и внедрение оборудования и инструмента, оснащенного твердыми сплавами, в различных отраслях промышленности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139575
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, В.А. Ковалев, О.Я. Юрчишин, А.Г. Ветров // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2016. — Вип. 19. — С. 465-473. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Исследованы закономерности образования формы обрабатываемой поверхности прецизионной детали при полировании. На основе обобщенной физико-статистической модели образования и удаления частиц шлама, а также метода усреднения относительной скорости перемещения инструмента и детали получены зависимости съема обрабатываемого материала, характеризующие эволюцию формы полированной поверхности и отклонение от плоскостности.