Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
Исследованы закономерности образования формы обрабатываемой поверхности прецизионной детали при полировании. На основе обобщенной физико-статистической модели образования и удаления частиц шлама, а также метода усреднения относительной скорости перемещения инструмента и детали получены зависимости с...
Gespeichert in:
| Datum: | 2016 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2016
|
| Schriftenreihe: | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139575 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, В.А. Ковалев, О.Я. Юрчишин, А.Г. Ветров // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2016. — Вип. 19. — С. 465-473. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |