2025-02-23T16:25:06-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140787%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:25:06-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140787%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:25:06-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T16:25:06-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала

Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала

Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть исполь...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Буджак, Я.С., Новосядлый, С.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Депонированные рукописи
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140787
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140787

Similar Items