2025-02-23T19:00:42-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140787%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T19:00:42-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140787%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T19:00:42-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T19:00:42-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала

Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала

Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть исполь...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Буджак, Я.С., Новосядлый, С.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Депонированные рукописи
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140787
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-140787
record_format dspace
spelling irk-123456789-1407872018-07-16T01:23:00Z Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала Буджак, Я.С. Новосядлый, С.П. Депонированные рукописи Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть использованы при формировании структур активных RC-фильтров и динамических оперативных запоминающих устройств произвольной выборки. 1998 Article Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала / Я.С. Буджак, С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 62. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140787 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Депонированные рукописи
Депонированные рукописи
spellingShingle Депонированные рукописи
Депонированные рукописи
Буджак, Я.С.
Новосядлый, С.П.
Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть использованы при формировании структур активных RC-фильтров и динамических оперативных запоминающих устройств произвольной выборки.
format Article
author Буджак, Я.С.
Новосядлый, С.П.
author_facet Буджак, Я.С.
Новосядлый, С.П.
author_sort Буджак, Я.С.
title Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
title_short Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
title_full Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
title_fullStr Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
title_full_unstemmed Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
title_sort формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 1998
topic_facet Депонированные рукописи
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140787
citation_txt Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала / Я.С. Буджак, С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 62. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT budžakâs formirovanietonkoplenočnogodiélektrikanaosnovebtantala
AT novosâdlyjsp formirovanietonkoplenočnogodiélektrikanaosnovebtantala
first_indexed 2023-10-18T21:23:26Z
last_indexed 2023-10-18T21:23:26Z
_version_ 1796152685290848256

Similar Items