Nb–Al–N-тонкие пленки: структурный переход от нанокристаллического твердого раствора nc-(Nb,Al)N к нанокомпозиту nc-(Nb, Al)N/a-AlN
Проведены исследования структуры и механических свойств тонких пленок системы Nb–Al–N, полученных при магнетронном распылении мишеней из ниобия и алюминия в атмосфере Ar–N₂. Показано, что с ростом концентрации алюминия структура тонких пленок из нанокристаллической превращается в нанокомпозитную, со...
Збережено в:
Дата: | 2016 |
---|---|
Автори: | , , , , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2016
|
Назва видання: | Сверхтвердые материалы |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/143832 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Nb–Al–N-тонкие пленки: структурный переход от нанокристаллического твердого раствора nc-(Nb,Al)N к нанокомпозиту nc-(Nb, Al)N/a-AlN / В.И. Иващенко, С.Н. Дуб, П.Л. Скрынский, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, Г.Н. Толмачева, В.Н. Рогоз, А.К. Синельниченко // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 2. — С. 40-54. — Бібліогр.: 27 назв. — рос. |