Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
В результате исследований закономерностей формирования плоскостей монокристаллов с различной кристаллографической ориентацией установлено, что при полировании сапфира параметры шероховатости Ra, Rq, Rmax уменьшаются в ряду c > r > m > a при уменьшении диэлектрической проницаемости, коэффици...
Збережено в:
Дата: | 2016 |
---|---|
Автори: | , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2016
|
Назва видання: | Сверхтвердые материалы |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/143845 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов / А.Ю. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 3. — С. 63-76. — Бібліогр.: 32 назв. — рос. |