Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов

В результате исследований закономерностей формирования плоскостей монокристаллов с различной кристаллографической ориентацией установлено, что при полировании сапфира параметры шероховатости Ra, Rq, Rmax уменьшаются в ряду c > r > m > a при уменьшении диэлектрической проницаемости, коэффици...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2016
Автори:	Филатов, А.Ю., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
Назва видання:	Сверхтвердые материалы
Теми:	Исследование процессов обработки
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/143845
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов / А.Ю. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 3. — С. 63-76. — Бібліогр.: 32 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-143845
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1438452018-11-14T01:23:58Z Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов Филатов, А.Ю. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Исследование процессов обработки В результате исследований закономерностей формирования плоскостей монокристаллов с различной кристаллографической ориентацией установлено, что при полировании сапфира параметры шероховатости Ra, Rq, Rmax уменьшаются в ряду c > r > m > a при уменьшении диэлектрической проницаемости, коэффициента теплопроводности обрабатываемого материала, высоты частиц шлама и константы Лифшица, характеризующей энергию взаимодействия зерен полировального порошка с обрабатываемой поверхностью. Определены минимально допустимые значения параметров шероховатости атомарно гладких поверхностей, которые линейно В результаті дослідження закономірностей формування площин монокристалів з різною кристалографічною орієнтацією встановлено, що при поліруванні сапфіру параметри шорсткості Ra, Rq, Rmax зменшуються в ряду c > r > m > a при зменшенні діелектричної проникності, коефіцієнта теплопровідності оброблюваного матеріалу, висоти частинок шламу та константи Ліфшиця, що характеризує енергію взаємодії зерен полірувального порошку з оброблюваною поверхнею. Визначено мінімально припустимі значення параметрів шорсткості атомарно гладких поверхонь, які лінійно залежать від міжплощинних відстаней та зменшуються в ряду r > a > c > m. The studies of regularities of formation planes of single crystals with different crystallographic orientations found that in polishing sapphire roughness parameters Ra, Rq, Rmax decrease in the number of c> r> m> a with a decrease in the dielectric constant, thermal conductivity of the material being processed, the height of the sludge particles and the Lifshitz constant, characterizing the interaction energy grain polishing powder with treated surface. Determine the minimum allowable values atomically smooth surface roughness, which are linearly dependent on the interplanar distances and decrease to a number r> a> c> m. 2016 Article Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов / А.Ю. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 3. — С. 63-76. — Бібліогр.: 32 назв. — рос. 0203-3119 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/143845 621.623 ru Сверхтвердые материалы Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки
spellingShingle	Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки Филатов, А.Ю. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов Сверхтвердые материалы
description	В результате исследований закономерностей формирования плоскостей монокристаллов с различной кристаллографической ориентацией установлено, что при полировании сапфира параметры шероховатости Ra, Rq, Rmax уменьшаются в ряду c > r > m > a при уменьшении диэлектрической проницаемости, коэффициента теплопроводности обрабатываемого материала, высоты частиц шлама и константы Лифшица, характеризующей энергию взаимодействия зерен полировального порошка с обрабатываемой поверхностью. Определены минимально допустимые значения параметров шероховатости атомарно гладких поверхностей, которые линейно
format	Article
author	Филатов, А.Ю. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г.
author_facet	Филатов, А.Ю. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г.
author_sort	Филатов, А.Ю.
title	Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
title_short	Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
title_full	Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
title_fullStr	Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
title_full_unstemmed	Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
title_sort	шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов
publisher	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
publishDate	2016
topic_facet	Исследование процессов обработки
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/143845
citation_txt	Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов / А.Ю. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 3. — С. 63-76. — Бібліогр.: 32 назв. — рос.
series	Сверхтвердые материалы
work_keys_str_mv	AT filatovaû šerohovatostʹpolirovannyhpoverhnostejoptikoélektronnyhélementovizmonokristalličeskihmaterialov AT sidorkovi šerohovatostʹpolirovannyhpoverhnostejoptikoélektronnyhélementovizmonokristalličeskihmaterialov AT kovalevsv šerohovatostʹpolirovannyhpoverhnostejoptikoélektronnyhélementovizmonokristalličeskihmaterialov AT filatovûd šerohovatostʹpolirovannyhpoverhnostejoptikoélektronnyhélementovizmonokristalličeskihmaterialov AT vetrovag šerohovatostʹpolirovannyhpoverhnostejoptikoélektronnyhélementovizmonokristalličeskihmaterialov
first_indexed	2023-05-20T17:18:05Z
last_indexed	2023-05-20T17:18:05Z
_version_	1796152983947313152

Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов

Репозитарії

Схожі ресурси