Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes
The structure, microhardness and protective properties of titanium oxide and titanium oxynitride coatings formed in vacuum arc plasma fluxes depending on the negative potential on the substrate and the oxygen pressure, and also on the oxygen content in the gas mixture (N₂+ O₂) were studied. It is...
Збережено в:
| Дата: | 2018 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149070 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes / V.A. Belous, V.M. Lunyov, A.S. Kuprin, M.A. Bortnitskaya // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 297-299. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-149070 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1490702019-02-20T01:28:22Z Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes Belous, V.A. Lunyov, V.M. Kuprin, A.S. Bortnitskaya, M.A. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии The structure, microhardness and protective properties of titanium oxide and titanium oxynitride coatings formed in vacuum arc plasma fluxes depending on the negative potential on the substrate and the oxygen pressure, and also on the oxygen content in the gas mixture (N₂+ O₂) were studied. It is shown that titanium coatings deposited in a pure oxygen atmosphere at the pressure of 0.03 Pa represent a dispersed system of oxides in composition depends on the bias potential of the substrate. Unlike titanium oxide coatings, TiNxOy coatings are single-phase, which lattice parameter varies within the oxygen partial pressure. TiNxOy system has high microhardness (34 GPa), corrosion resistance and decorative properties of the coating deposition at optimal technological parameters. Вивчено структура, мікротвердість та захисні властивості оксидних та оксинітридних титанових покриттів, що утворюються в потоках плазми вакуумної дуги, в залежності від негативного потенціалу на підкладці та тиску кисню, а також від вмісту кисню в газовій суміші (N₂+O₂). Показано, що титанові покриття, осаджені в атмосфері чистого кисню під тиском 3×10⁻² Па, являють собою дисперсну систему оксидів, склад яких залежить від потенціалу зміщення підкладки. На відміну від покриттів з оксиду титану покриття TiNxOy є однофазними, параметр решітки яких залежить від парціального тиску кисню. При оптимальних технологічних параметрах нанесення покриття система TiNxOy має високі мікротвердість (34 ГПа), корозійну стійкість та декоративні властивості. Изучены структура, микротвердость и защитные свойства оксидных и оксинитридных титановых покрытий, образующихся в потоках плазмы вакуумной дуги, в зависимости от отрицательного потенциала на подложке и давления кислорода, а также от содержания кислорода в газовой смеси (N₂+ O₂). Показано, что титановые покрытия, осажденные в атмосфере чистого кислорода при давлении 3×10⁻² Па, представляют собой дисперсную систему оксидов, состав которых зависит от потенциала смещения подложки. В отличие от покрытий из оксида титана покрытия TiNxOy являются однофазными, параметр решетки которых зависит от парциального давления кислорода. При оптимальных технологических параметрах нанесения покрытия система TiNxOy имеет высокую микротвердость (34 ГПа), коррозионную стойкость и декоративные свойства. 2018 Article Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes / V.A. Belous, V.M. Lunyov, A.S. Kuprin, M.A. Bortnitskaya // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 297-299. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 81.15.Cd, 81.15-z, 52.80.Vp, 52.77.Dq http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149070 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| spellingShingle |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Belous, V.A. Lunyov, V.M. Kuprin, A.S. Bortnitskaya, M.A. Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The structure, microhardness and protective properties of titanium oxide and titanium oxynitride coatings formed
in vacuum arc plasma fluxes depending on the negative potential on the substrate and the oxygen pressure, and also
on the oxygen content in the gas mixture (N₂+ O₂) were studied. It is shown that titanium coatings deposited in a
pure oxygen atmosphere at the pressure of 0.03 Pa represent a dispersed system of oxides in composition depends
on the bias potential of the substrate. Unlike titanium oxide coatings, TiNxOy coatings are single-phase, which lattice
parameter varies within the oxygen partial pressure. TiNxOy system has high microhardness (34 GPa), corrosion
resistance and decorative properties of the coating deposition at optimal technological parameters. |
| format |
Article |
| author |
Belous, V.A. Lunyov, V.M. Kuprin, A.S. Bortnitskaya, M.A. |
| author_facet |
Belous, V.A. Lunyov, V.M. Kuprin, A.S. Bortnitskaya, M.A. |
| author_sort |
Belous, V.A. |
| title |
Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes |
| title_short |
Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes |
| title_full |
Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes |
| title_fullStr |
Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes |
| title_full_unstemmed |
Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes |
| title_sort |
structure and properties of tiox and tinxoy coatings formed in vacuum arc plasma fluxes |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2018 |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149070 |
| citation_txt |
Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes / V.A. Belous, V.M. Lunyov, A.S. Kuprin, M.A. Bortnitskaya // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 297-299. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT belousva structureandpropertiesoftioxandtinxoycoatingsformedinvacuumarcplasmafluxes AT lunyovvm structureandpropertiesoftioxandtinxoycoatingsformedinvacuumarcplasmafluxes AT kuprinas structureandpropertiesoftioxandtinxoycoatingsformedinvacuumarcplasmafluxes AT bortnitskayama structureandpropertiesoftioxandtinxoycoatingsformedinvacuumarcplasmafluxes |
| first_indexed |
2023-05-20T17:32:05Z |
| last_indexed |
2023-05-20T17:32:05Z |
| _version_ |
1796153504207732736 |