Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes
The structure, microhardness and protective properties of titanium oxide and titanium oxynitride coatings formed in vacuum arc plasma fluxes depending on the negative potential on the substrate and the oxygen pressure, and also on the oxygen content in the gas mixture (N₂+ O₂) were studied. It is...
Збережено в:
| Дата: | 2018 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149070 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes / V.A. Belous, V.M. Lunyov, A.S. Kuprin, M.A. Bortnitskaya // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 297-299. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |