Kinetics of crystals growth under electron-beam crystallization of amorphous films of hafnium dioxide

Amorphous films of HfO₂ are prepared by laser ablation of Hf target in an oxygen atmosphere. Its crystallization was performed under the electron beam impact in a column of electron microscope. Formation and growth of HfO₂ crystals are investigated in situ. The transformation kinetic curves are plot...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2018
Автори: Bagmut, A.G., Bagmut, I.A.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2018
Назва видання:Functional Materials
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/157169
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Kinetics of crystals growth under electron-beam crystallization of amorphous films of hafnium dioxide / A.G. Bagmut, I.A. Bagmut // Functional Materials. — 2018. — Т. 25, № 3. — С. 525-533. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine