Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предвар...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2017
|
| Назва видання: | Физика и техника высоких давлений |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168126 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |