Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки
Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предвар...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2017
|
| Назва видання: | Физика и техника высоких давлений |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168126 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-168126 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1681262020-04-23T01:25:48Z Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Линник, А.И. Сироткин, В.В. Пасько, М.И. Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предварительное ультрафиолетовое (УФ) облучение поверхности пленки перед термообработкой позволяет значительно увеличить концентрацию связанного азота в материале. The modification of the nanostructure of carbon nitride films CNx under the influence of heat treatment on the air is investigated in the paper. It is shown that short heat treatment of film results in oxygen etching of amorphous phase and formation of separated nanocolumnar nanostructure. It is found that preliminary UV-irradiation of the film surface before the heat treatment can significantly increase the concentration of bounded nitrogen in the material. 2017 Article Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 81.15.Cd, 61.46.–w http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168126 ru Физика и техника высоких давлений Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предварительное ультрафиолетовое (УФ) облучение поверхности пленки перед термообработкой позволяет значительно увеличить концентрацию связанного азота в материале. |
| format |
Article |
| author |
Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Линник, А.И. Сироткин, В.В. Пасько, М.И. |
| spellingShingle |
Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Линник, А.И. Сироткин, В.В. Пасько, М.И. Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки Физика и техника высоких давлений |
| author_facet |
Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Линник, А.И. Сироткин, В.В. Пасько, М.И. |
| author_sort |
Прудников, А.М. |
| title |
Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_short |
Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_full |
Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_fullStr |
Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_full_unstemmed |
Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| title_sort |
структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки |
| publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| publishDate |
2017 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168126 |
| citation_txt |
Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| series |
Физика и техника высоких давлений |
| work_keys_str_mv |
AT prudnikovam strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT šalaevrv strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT linnikai strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT sirotkinvv strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki AT pasʹkomi strukturnaâmodifikaciâplenoknitridauglerodapodvliâniemtermoobrabotki |
| first_indexed |
2023-10-18T22:22:15Z |
| last_indexed |
2023-10-18T22:22:15Z |
| _version_ |
1796155338874945536 |