Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2017
|
| Назва видання: | Физика и техника высоких давлений |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168135 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-168135 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1681352020-04-23T01:26:00Z Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода Изотов, А.И. Кильман, Г.В. Сироткин, В.В. Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина оптической щели вследствие избирательного стравливания sp²-гибридизированного углерода. The effect of supercritical isopropanol treatment on the optical properties of carbon nitride films is studied. The films are grown by magnetron sputtering of a graphite target on cover glass substrates. As a result of treatment, the transparency of the films is increased as well as the width of the optical gap due to selective etching of the sp²-hybridized carbon. 2017 Article Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 81.15.Gh, 81.60.–j http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168135 ru Физика и техника высоких давлений Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина оптической щели вследствие избирательного стравливания sp²-гибридизированного углерода. |
| format |
Article |
| author |
Изотов, А.И. Кильман, Г.В. Сироткин, В.В. Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. |
| spellingShingle |
Изотов, А.И. Кильман, Г.В. Сироткин, В.В. Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода Физика и техника высоких давлений |
| author_facet |
Изотов, А.И. Кильман, Г.В. Сироткин, В.В. Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. |
| author_sort |
Изотов, А.И. |
| title |
Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_short |
Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_full |
Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_fullStr |
Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_full_unstemmed |
Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_sort |
влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| publishDate |
2017 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168135 |
| citation_txt |
Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| series |
Физика и техника высоких давлений |
| work_keys_str_mv |
AT izotovai vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvojstvaplenoknitridaugleroda AT kilʹmangv vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvojstvaplenoknitridaugleroda AT sirotkinvv vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvojstvaplenoknitridaugleroda AT šalaevrv vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvojstvaplenoknitridaugleroda AT prudnikovam vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvojstvaplenoknitridaugleroda |
| first_indexed |
2023-10-18T22:22:16Z |
| last_indexed |
2023-10-18T22:22:16Z |
| _version_ |
1796155339828101120 |