Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода

• Дата: 2017
• Автори: Изотов, А.И., Кильман, Г.В., Сироткин, В.В., Шалаев, Р.В., Прудников, А.М.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2017
• Назва видання: Физика и техника высоких давлений
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168135
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина...