Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості
Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинт...
Saved in:
| Date: | 2008 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2008
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17672 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |