Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system
The discharge characteristics of a new combined low energy magnetron-ion-source sputtering system are presented. The ignition curves, current-voltage characteristics of the system in dependence on gas pressure, magnitude and topology of magnetic field have been researched both for autonomous operati...
Збережено в:
| Дата: | 2020 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2020
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194668 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system / A. Zykov, N. Yefymenko, S. Dudin, S. Yakovin // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 169-173. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-194668 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1946682023-11-28T15:44:34Z Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system Zykov, A. Yefymenko, N. Dudin, S. Yakovin, S. Low temperature plasma and plasma technologies The discharge characteristics of a new combined low energy magnetron-ion-source sputtering system are presented. The ignition curves, current-voltage characteristics of the system in dependence on gas pressure, magnitude and topology of magnetic field have been researched both for autonomous operation of the planar magnetron discharge and Hall type ion source in plasma mode and for their combination. Spatial distributions of ion current are also presented. Проведено дослідження розрядних характеристик нової комбінованої низькоенергетичної іоннопроменевої магнетронної розпорошувальної системи з питомими параметрами, які відповідають промисловому виробництву. Досліджено криві запалювання, розрядні характеристики в залежності від тиску робочого газу, величини та топології магнітного поля як при автономній, так і при сумісній роботі планарного магнетронного розряду та джерела іонів холлівського типу у плазмовому режимі. Досліджені просторові розподіли потоків іонів. Проведены исследования разрядных характеристик новой комбинированной низкоэнергетичной ионнолучевой магнетронной распылительной системы с удельными параметрами, отвечающими требованиям промышленного производства. Исследованы кривые зажигания, разрядные характеристики в зависимости от давления рабочего газа, величины и топологии магнитного поля как при автономной, так и при совместной работе планарного магнетронного разряда и источника ионов холловского типа в плазменном режиме. Исследованы пространственные характеристики потоков ионов. 2020 Article Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system / A. Zykov, N. Yefymenko, S. Dudin, S. Yakovin // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 169-173. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 81.15.-z http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194668 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Zykov, A. Yefymenko, N. Dudin, S. Yakovin, S. Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The discharge characteristics of a new combined low energy magnetron-ion-source sputtering system are presented. The ignition curves, current-voltage characteristics of the system in dependence on gas pressure, magnitude and topology of magnetic field have been researched both for autonomous operation of the planar magnetron discharge and Hall type ion source in plasma mode and for their combination. Spatial distributions of ion current are also presented. |
| format |
Article |
| author |
Zykov, A. Yefymenko, N. Dudin, S. Yakovin, S. |
| author_facet |
Zykov, A. Yefymenko, N. Dudin, S. Yakovin, S. |
| author_sort |
Zykov, A. |
| title |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_short |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_full |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_fullStr |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_full_unstemmed |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_sort |
discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2020 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194668 |
| citation_txt |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system / A. Zykov, N. Yefymenko, S. Dudin, S. Yakovin // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 169-173. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT zykova dischargecharacteristicsofcombinedlowenergyionsourcemagnetronsputteringsystem AT yefymenkon dischargecharacteristicsofcombinedlowenergyionsourcemagnetronsputteringsystem AT dudins dischargecharacteristicsofcombinedlowenergyionsourcemagnetronsputteringsystem AT yakovins dischargecharacteristicsofcombinedlowenergyionsourcemagnetronsputteringsystem |
| first_indexed |
2024-03-31T09:12:23Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:12:23Z |
| _version_ |
1796157973731475456 |