The microplasma aluminum and titanium oxidation in condensed environments
The plant intended for the microplasma oxidation of the materials whose oxides possess semiconductor properties has been developed. The coatings consisting of corundum Al²O³-α (hexagonal syngony) and the two transition modifications of aluminum oxide Al²O³-η (cubic syngony) and Al²O³-θ (monoclinic s...
Збережено в:
| Дата: | 2020 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2020
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194754 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The microplasma aluminum and titanium oxidation in condensed environments / D.V. Vinnikov, A.N. Ozerov, V.B. Yuferov, V.T. Fomin // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 1. — С. 178-184. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |