Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration
This work is devoted to measuring the function of the distribution of charged particles of gas-discharge plasma in a magnetron sputtering system under conditions of non-potential “earth”. Measurements are carried out with the help of a three-electrode probe, which is installed in the cathode sputter...
Збережено в:
| Дата: | 2021 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194765 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, V.A. Makhlai // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 102-105. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-194765 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1947652023-11-29T17:08:44Z Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Makhlai, V.A. Low temperature plasma and plasma technologies This work is devoted to measuring the function of the distribution of charged particles of gas-discharge plasma in a magnetron sputtering system under conditions of non-potential “earth”. Measurements are carried out with the help of a three-electrode probe, which is installed in the cathode sputtering zone, with unsafe electrodes and housing. The selection of the analyzed particles was carried out through a screen located under floating potential. Effect of additional magnetic insulation anode of MSS МАG-5 on ion and electron distribution functions was investigated. Робота присвячена вимірюванню функції розподілу заряджених частинок газорозрядної плазми в магнетронній розпорошувальній системі в умовах непотенційної «землі». Вимірювання проведені за допомогою триелектродного зонду, який встановлено в зоні катодного розпилення, з незаземленими електродами і корпусом. Відбір досліджуваних частинок проводили через екран, розташований під плаваючим потенціалом. Досліджено вплив додаткової магнітоізоляції анода МРС МАГ-5 на функції розподілу іонів та електронів. Работа посвящена измерению функции распределения заряженных частиц газоразрядной плазмы в магнетронной распылительной системе в условиях непотенциальной «земли». Измерения проведены с помощью триэлектродного зонда, расположенного в зоне катодного распыления, с незаземленными электродами и корпусом. Отбор исследуемых частиц проводили через экран, находящийся под плавающим потенциалом. Исследовано влияние дополнительной магнитоизоляции анода МРС МАГ-5 на функции распределения ионов и электронов. 2021 Article Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, V.A. Makhlai // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 102-105. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194765 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Makhlai, V.A. Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration Вопросы атомной науки и техники |
| description |
This work is devoted to measuring the function of the distribution of charged particles of gas-discharge plasma in a magnetron sputtering system under conditions of non-potential “earth”. Measurements are carried out with the help of a three-electrode probe, which is installed in the cathode sputtering zone, with unsafe electrodes and housing. The selection of the analyzed particles was carried out through a screen located under floating potential. Effect of additional magnetic insulation anode of MSS МАG-5 on ion and electron distribution functions was investigated. |
| format |
Article |
| author |
Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Makhlai, V.A. |
| author_facet |
Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Makhlai, V.A. |
| author_sort |
Chunadra, А.G. |
| title |
Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration |
| title_short |
Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration |
| title_full |
Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration |
| title_fullStr |
Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration |
| title_full_unstemmed |
Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration |
| title_sort |
control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2021 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194765 |
| citation_txt |
Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, V.A. Makhlai // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 102-105. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT chunadraag controlofionizationprocessesinmagnetronsputteringsystembychangingmagneticfieldconfiguration AT seredakn controlofionizationprocessesinmagnetronsputteringsystembychangingmagneticfieldconfiguration AT tarasovik controlofionizationprocessesinmagnetronsputteringsystembychangingmagneticfieldconfiguration AT makhlaiva controlofionizationprocessesinmagnetronsputteringsystembychangingmagneticfieldconfiguration |
| first_indexed |
2024-03-31T09:12:52Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:12:52Z |
| _version_ |
1796157984046317568 |