Vector proton beam writing system

Vector proton beam writing system

Vector method for scanning with focused beam of megaelectronvolt-energy in proton-beam writing is described. Vector proton-beam writing method was proven experimentally to have numerous advantages over raster method. Focused beam size and shape are measured by scanning standard copper mesh for e-bea...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2022
Автори: Polozhii, H.E., Ponomarev, A.G., Kolinko, S.V., Rebrov, V.A.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2022
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Interaction of relativistic particles with crystals and matter
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195391
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Vector proton beam writing system / H.E. Polozhii, A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 3. — С. 52-55. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-195391
record_format dspace
spelling irk-123456789-1953912023-12-05T11:44:47Z Vector proton beam writing system Polozhii, H.E. Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. Interaction of relativistic particles with crystals and matter Vector method for scanning with focused beam of megaelectronvolt-energy in proton-beam writing is described. Vector proton-beam writing method was proven experimentally to have numerous advantages over raster method. Focused beam size and shape are measured by scanning standard copper mesh for e-beam microscopy. Prospectives of hardware and software upgrade are regarded. Vector proton-beam writing technology can be used in many appli-cations, including X-ray optics, electronics prototyping, microrobotics, microfluidics, photonics and microstructure fabrication in new materials. Дано опис векторного методу сканування сфокусованим пучком мегаелектронвольтних енергій в протонно-променевій літографії. Експериментально доведено, що векторний метод протонно-променевої літографії має ряд переваг перед растровим методом. Визначення форми та розмірів сфокусованого пучка здійснюється за рахунок сканування стандартної мідної сітки для електронної мікроскопії. Розглянуті подальші шляхи вдосконалення обладнання та програмного забезпечення. Технологія векторної протонної літографії може бути використана в багатьох застосуваннях, включно з рентгенівською оптикою, прототипуванням електроніки, мікроробототехнікою, рідинними мікроструктурами (мікрофлюїдика), фотонікою і створенням мікроструктур у нових матеріалах. 2022 Article Vector proton beam writing system / H.E. Polozhii, A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 3. — С. 52-55. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 42.82.Cr; 85.40.Hp; 81.16.Nd http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195391 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Interaction of relativistic particles with crystals and matter
Interaction of relativistic particles with crystals and matter
spellingShingle Interaction of relativistic particles with crystals and matter
Interaction of relativistic particles with crystals and matter
Polozhii, H.E.
Ponomarev, A.G.
Kolinko, S.V.
Rebrov, V.A.
Vector proton beam writing system
Вопросы атомной науки и техники
description Vector method for scanning with focused beam of megaelectronvolt-energy in proton-beam writing is described. Vector proton-beam writing method was proven experimentally to have numerous advantages over raster method. Focused beam size and shape are measured by scanning standard copper mesh for e-beam microscopy. Prospectives of hardware and software upgrade are regarded. Vector proton-beam writing technology can be used in many appli-cations, including X-ray optics, electronics prototyping, microrobotics, microfluidics, photonics and microstructure fabrication in new materials.
format Article
author Polozhii, H.E.
Ponomarev, A.G.
Kolinko, S.V.
Rebrov, V.A.
author_facet Polozhii, H.E.
Ponomarev, A.G.
Kolinko, S.V.
Rebrov, V.A.
author_sort Polozhii, H.E.
title Vector proton beam writing system
title_short Vector proton beam writing system
title_full Vector proton beam writing system
title_fullStr Vector proton beam writing system
title_full_unstemmed Vector proton beam writing system
title_sort vector proton beam writing system
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2022
topic_facet Interaction of relativistic particles with crystals and matter
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195391
citation_txt Vector proton beam writing system / H.E. Polozhii, A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 3. — С. 52-55. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT polozhiihe vectorprotonbeamwritingsystem
AT ponomarevag vectorprotonbeamwritingsystem
AT kolinkosv vectorprotonbeamwritingsystem
AT rebrovva vectorprotonbeamwritingsystem
first_indexed 2024-03-31T09:15:36Z
last_indexed 2024-03-31T09:15:36Z
_version_ 1796158047225118720

Схожі ресурси