Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface
The coefficients of back-scattering and neutralization of nitrogen ions (N⁺) on iron surface during ion bombardment at the processes of ion sputtering and niriding have been calculated using TRIM code. The pure iron target and two-element targets, Fe+Mo (1 and 5%), Fe+W (1 and 5%), were tested. The...
Збережено в:
| Дата: | 2022 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2022
|
| Назва видання: | Problems of Atomic Science and Technology |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195913 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface / A. Kuzmichev, M. Melnichenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 129-133. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-195913 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1959132023-12-08T13:04:30Z Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface Kuzmichev, A. Melnichenko, M. Low temperature plasma and plasma technologies The coefficients of back-scattering and neutralization of nitrogen ions (N⁺) on iron surface during ion bombardment at the processes of ion sputtering and niriding have been calculated using TRIM code. The pure iron target and two-element targets, Fe+Mo (1 and 5%), Fe+W (1 and 5%), were tested. The ion energy was from 0.1 to 70 keV. The ions N+ are considered to be back-scattering in the form of energetic N atoms. The calculations showed the back-scattering and neutralization coefficients are tens of percent for low energies N⁺ ions and several percent for energies of tens kiloelectron-volts. The average penetration depth of the ions into the Fe target and the ion sputtering coefficients are calculated, too. Коефіцієнти зворотного розсіювання та нейтралізації іонів азоту на поверхні заліза під час іонного бомбардування у процесах іонного розпилення та азотування були розраховані за допомогою програми TRIM. Випробовували мішень із чистого заліза та двоелементні мішені Fe+Mo (1 та 5 %), Fe+W (1 та 5 %). Енергія іонів становила від 0,1 до 70 кеВ. Вважалося, що іони N⁺ розсіюються назад у формі енергетичних атомів N. Розрахунки показують, що коефіцієнти зворотного розсіювання та нейтралізації складають десятки відсотків для низькоенергетичних іонів N⁺ і кілька відсотків для енергій у десятки кілоелектронвольт. Також розраховано середню глибину проникнення іонів азоту в Fe-мішень та коефіцієнти іонного розпилення. 2022 Article Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface / A. Kuzmichev, M. Melnichenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 129-133. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Tn, 34.50.Dy DOI: https://doi.org/10.46813/2022-142-129 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195913 en Problems of Atomic Science and Technology Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Kuzmichev, A. Melnichenko, M. Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface Problems of Atomic Science and Technology |
| description |
The coefficients of back-scattering and neutralization of nitrogen ions (N⁺) on iron surface during ion bombardment at the processes of ion sputtering and niriding have been calculated using TRIM code. The pure iron target and two-element targets, Fe+Mo (1 and 5%), Fe+W (1 and 5%), were tested. The ion energy was from 0.1 to 70 keV. The ions N+ are considered to be back-scattering in the form of energetic N atoms. The calculations showed the back-scattering and neutralization coefficients are tens of percent for low energies N⁺ ions and several percent for energies of tens kiloelectron-volts. The average penetration depth of the ions into the Fe target and the ion sputtering coefficients are calculated, too. |
| format |
Article |
| author |
Kuzmichev, A. Melnichenko, M. |
| author_facet |
Kuzmichev, A. Melnichenko, M. |
| author_sort |
Kuzmichev, A. |
| title |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_short |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_full |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_fullStr |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_full_unstemmed |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_sort |
back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2022 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195913 |
| citation_txt |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface / A. Kuzmichev, M. Melnichenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 129-133. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
| series |
Problems of Atomic Science and Technology |
| work_keys_str_mv |
AT kuzmicheva backscatteringandneutralizationcoefficientsofnitrogenionsonironsurface AT melnichenkom backscatteringandneutralizationcoefficientsofnitrogenionsonironsurface |
| first_indexed |
2024-03-31T09:17:53Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:17:53Z |
| _version_ |
1796158106004094976 |