Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge

The paper presents a method for the formation of low-energy ion flow for creation and treatment of functional coatings without radiation damage. Plasma source based in arc discharge with filament cathode creates the primary plasma in the volume of vacuum chamber where the treated sample is placed. T...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2023
Автори: Hrechkо, Ya., Babenko, Ie., Sereda, I., Azarenkov, N.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2023
Назва видання:Problems of Atomic Science and Technology
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/196047
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge / Ya. Hrechkо, Ie. Babenko, I. Sereda , N. Azarenkov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 47-50. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine