Simulation of capacitively coupled RF discharge in argon

In this work, the axial profiles of the density of electrons and positive ions, the mean electron energy, the electric field strength, and the potential were obtained, both on average over the period and in dynamics. It was shown that argon discharges are dominated by ionization by electrons that ga...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2023
Автори: Lisovskiy, V., Dudin, S., Shakhnazarian, A., Platonov, P., Yegorenkov, V.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2023
Назва видання:Problems of Atomic Science and Technology
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/196190
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Simulation of capacitively coupled RF discharge in argon / V. Lisovskiy, S. Dudin, A. Shakhnazarian, P. Platonov, V. Yegorenkov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 4. — С. 129-133. — Бібліогр.: 21 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine