2025-02-23T03:02:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-27892%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:02:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-27892%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:02:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T03:02:31-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок

Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок

Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2009
Series:Наука та інновації
Subjects:
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним оптичним спектрометром. Установка інтегрує процеси плазмово-стимульованого хімічного парофазного осадження, очищення та активації поверхні підкладки у плазмі розряду, нанесення перехідних адгезійних шарів та шарів металу-каталізатора, а також процес безпосереднього формування вуглецевих наноструктур.

Similar Items