Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2009
|
| Назва видання: | Наука та інновації |
| Теми: | |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-27892 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-278922018-01-13T14:31:42Z Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним оптичним спектрометром. Установка інтегрує процеси плазмово-стимульованого хімічного парофазного осадження, очищення та активації поверхні підкладки у плазмі розряду, нанесення перехідних адгезійних шарів та шарів металу-каталізатора, а також процес безпосереднього формування вуглецевих наноструктур. Создана установка для ионно-плазменного формирования углеродных нанотрубок и других наноструктур. Установка содержит высоковакуумную систему откачки, систему напуска рабочих газов, камеру геликонного разряда, камеру дрейфа, вакуумно-дуговые источники, источники пи тания и систему контроля с малогабаритным оптическим спектрометром. Установка интегрирует процессы плазменно-стимулированного химического парофазного осаждения, очистки и активации поверхности подложки в плазме разряда, нанесения переходных адгезионных слоев и металла-катализатора, а также процесс непосредственного формирования углеродных наноструктур. The plant for ionic-plasma formation carbon nanotubes and other nanostructures is created. The plant contains highvacuum-pump system, working gases letting system, helicon discharge chamber, drift chamber, vacuum-arc sources, power sources and monitoring system with a small-sized optical spectrometer. The plant integrates processes plasma-enhanced chemical vapour-phase deposition, plasma clearing and activation of a substrate surface, deposition of transitive adhesive layers and metal-catalyst, direct formation process of carbon nanostructure. 2009 Article Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin5.05.005 http:/dspace/handle/123456789/27892 uk Наука та інновації Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| spellingShingle |
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок Наука та інновації |
| description |
Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним оптичним спектрометром. Установка інтегрує процеси плазмово-стимульованого хімічного парофазного осадження, очищення та активації поверхні підкладки у плазмі розряду, нанесення перехідних адгезійних шарів та шарів металу-каталізатора, а також процес безпосереднього формування вуглецевих наноструктур. |
| format |
Article |
| author |
Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. |
| author_facet |
Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. |
| author_sort |
Руденко, Е.М. |
| title |
Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_short |
Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_full |
Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_fullStr |
Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_full_unstemmed |
Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_sort |
установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| citation_txt |
Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
| series |
Наука та інновації |
| work_keys_str_mv |
AT rudenkoem ustanovkadlâprecizíjnogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT korotašív ustanovkadlâprecizíjnogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT semenûkvf ustanovkadlâprecizíjnogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT šamrajkp ustanovkadlâprecizíjnogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok |
| first_indexed |
2023-10-18T17:24:49Z |
| last_indexed |
2023-10-18T17:24:49Z |
| _version_ |
1796141473984413696 |