2025-02-23T03:30:29-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-27892%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T03:30:29-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-27892%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T03:30:29-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-23T03:30:29-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок

Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2009
Series:	Наука та інновації
Subjects:	Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

id	irk-123456789-27892
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-278922018-01-13T14:31:42Z Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним оптичним спектрометром. Установка інтегрує процеси плазмово-стимульованого хімічного парофазного осадження, очищення та активації поверхні підкладки у плазмі розряду, нанесення перехідних адгезійних шарів та шарів металу-каталізатора, а також процес безпосереднього формування вуглецевих наноструктур. Создана установка для ионно-плазменного формирования углеродных нанотрубок и других наноструктур. Установка содержит высоковакуумную систему откачки, систему напуска рабочих газов, камеру геликонного разряда, камеру дрейфа, вакуумно-дуговые источники, источники пи тания и систему контроля с малогабаритным оптическим спектрометром. Установка интегрирует процессы плазменно-стимулированного химического парофазного осаждения, очистки и активации поверхности подложки в плазме разряда, нанесения переходных адгезионных слоев и металла-катализатора, а также процесс непосредственного формирования углеродных наноструктур. The plant for ionic-plasma formation carbon nanotubes and other nanostructures is created. The plant contains highvacuum-pump system, working gases letting system, helicon discharge chamber, drift chamber, vacuum-arc sources, power sources and monitoring system with a small-sized optical spectrometer. The plant integrates processes plasma-enhanced chemical vapour-phase deposition, plasma clearing and activation of a substrate surface, deposition of transitive adhesive layers and metal-catalyst, direct formation process of carbon nanostructure. 2009 Article Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin5.05.005 http:/dspace/handle/123456789/27892 uk Наука та інновації Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
topic	Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
spellingShingle	Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок Наука та інновації
description	Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним оптичним спектрометром. Установка інтегрує процеси плазмово-стимульованого хімічного парофазного осадження, очищення та активації поверхні підкладки у плазмі розряду, нанесення перехідних адгезійних шарів та шарів металу-каталізатора, а також процес безпосереднього формування вуглецевих наноструктур.
format	Article
author	Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П.
author_facet	Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П.
author_sort	Руденко, Е.М.
title	Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
title_short	Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
title_full	Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
title_fullStr	Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
title_full_unstemmed	Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
title_sort	установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
publisher	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
publishDate	2009
topic_facet	Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
citation_txt	Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.
series	Наука та інновації
work_keys_str_mv	AT rudenkoem ustanovkadlâprecizíjnogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT korotašív ustanovkadlâprecizíjnogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT semenûkvf ustanovkadlâprecizíjnogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT šamrajkp ustanovkadlâprecizíjnogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok
first_indexed	2023-10-18T17:24:49Z
last_indexed	2023-10-18T17:24:49Z
_version_	1796141473984413696

Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок

Similar Items